辉光放电质谱仪校准规范标准立项发展报告
StandardizationDevelopmentReport:CalibrationSpecificationforGlowDischargeMassSpectrometers
摘要
辉光放电质谱仪(GlowDischargeMassSpectrometer,GDMS)作为一种高灵敏度、高分辨率的无机元素分析仪器,广泛应用于高纯材料、半导体、冶金、地质和环境监测等领域中痕量与超痕量元素的定量分析。随着我国高端制造业和新材料产业的快速发展,GDMS仪器的保有量持续增长,对其计量校准的规范化需求日益迫切。然而,在JJF229
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