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MEMS传感器老化试验方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、方案适用范围与试验目的 4
二、引用标准与技术规范 5
三、试验对象分类与送检要求 7
四、老化试验环境条件要求 10
五、试验设备与工装配置要求 13
六、试验样品标识与抽样规则 16
七、高温静态老化试验方法 18
八、高温动态老化试验方法 22
九、高低温循环老化试验方法 25
十、恒定湿热老化试验方法 31
十一、交变湿热老化试验方法 34
十二、振动应力耦合老化试验方法 38
十三、跌落冲击应力老化试验方法 42
十四、电应力过载老化试验方法
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