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- 2026-10-10 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119212140A
(43)申请公布日2024.12.27
(21)申请号202411492752.4H01L21/683(2006.01)
(22)申请日2024.10.24
(71)申请人爱利彼半导体设备（上海）有限公司
地址200120上海市浦东新区中国(上海)
自由贸易试验区临港新片区两港大道
6288号1幢1层
(72)发明人付育林汤进昌
(74)专利代理机构苏州市知腾专利代理事务所
(普通合伙)32632
专利代理师陈攀
(51)Int.Cl.
H05B3/40(2006.01)
H05B3/06(2
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