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MEMS传感器性能规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 3
二、规范性引用文件 5
三、术语和定义 7
四、产品分类与代号 10
五、通用技术要求 15
六、灵敏度性能要求 17
七、测量量程要求 18
八、精度等级要求 20
九、分辨率性能要求 23
十、迟滞特性要求 26
十一、重复性特性要求 28
十二、线性度特性要求 30
十三、温度漂移要求 32
十四、长期稳定性要求 35
十五、动态响应要求 37
十六、抗电磁干扰要求 39
十七、可靠性试验要求 41
十八、环境适应性要求 45
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