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《逻辑电路制造用半导体大硅片技术规范》.pdfVIP

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  • 2026-10-11 发布于河南
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《逻辑电路制造用半导体大硅片技术规范》.pdf

    ICS29.045

    CCSJ80

    团体标准

    T/CAEEXXX-202X

    逻辑电路制造用半导体大硅片技术规范

    Technicalspecificationsforlargesemiconductorwafersusedinlogiccircuit

    manufacturing

    （征求意见稿）

    202X-XX-XX发布202X-XX-XX实施

    中国电子装备技术开发协会发布

    T/CAEEXXX-202X

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