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QYResearch｜全球行业调研报告

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半导体润滑剂迎三驱动：PFPE守高真空强腐蚀，低析出保制程

核心判断：全球半导体润滑剂并不是一个依靠“吨位增长”驱动的大宗润滑材料市场，而是典型的低用量、高单位价值、高认证壁垒、高失效成本、长期MRO复购的半导体设备功能材料市场。润滑材料通常不会直接参与晶圆化学反应，但它广泛存在于真空泵、晶圆机械手、轴承、线性导轨、滚珠丝杠、真空阀、密封件、传动机构以及先进封装自动化设备之中。对于普通工业机械，润滑失效首先意味着磨损；对于半导体设备，润滑剂挥