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- 2026-10-11 发布于河南
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ICS29.045
CCSH80
团体标准
T/CAEEXXX-202X
存储器制造用半导体大硅片技术要求
Technicalrequirementsforlargesemiconductorsiliconwafersusedinmemory
manufacturing
（征求意见稿）
202X-XX-XX发布202X-XX-XX实施
中国电子装备技术开发协会发布
T/CAEEXXX-202X
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