基于法布里-珀涉微气相色谱检测传感器.pdfVIP

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基于法布里-珀涉微气相色谱检测传感器.pdf

《传感器与执行器B辑》第159卷(2011年)第60‑65页

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用于微气相色谱检测的片上法布里‑珀涉传感器

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卡蒂克·雷迪,、、,、李,、、,,∗

a密歇根大学生物医学工程系,比尔大道1101号,安娜堡,MI48109b密歇根大学与计算机科学系,比尔大道1301号,安娜堡,MI48109c美

国密歇根大学无线集成微系统工程,比尔大道1301号,安娜堡,MI48109

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要

文章:2011年4月

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