CN119308014A Cvd单晶金刚石生长温度场稳定性提升方法及其稳定装置 (郑州大学).pdfVIP

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  • 2026-10-12 发布于重庆
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CN119308014A Cvd单晶金刚石生长温度场稳定性提升方法及其稳定装置 (郑州大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119308014A

(43)申请公布日2025.01.14

(21)申请号202411464573.X

(22)申请日2024.10.21

(71)申请人郑州大学

地址450000河南省郑州市高新技术开发

区科学大道100号

(72)发明人杨珣游志恒张镇峰单崇新

(74)专利代理机构郑州市华翔专利代理事务所

(普通合伙)41122

专利代理师马鹏鹞

(51)Int.Cl.

C30B29/04(2006.01)

C30B25/00(2006.01)

C23C16/27(2006.01)

C23C16/458(2006.01)

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