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TCASAS 073—2026碳化硅晶锭激光剥离设备通用技术规范.docxVIP

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  • 2026-10-12 发布于河南
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TCASAS 073—2026碳化硅晶锭激光剥离设备通用技术规范.docx

    ICSchua31.260CCSL95

    团体标准

    T/CASAS073—2026

    碳化硅晶锭激光剥离设备通用技术规范

    Generaltechnicalspecificationsoflaser-inducedslicingequipment

    forsiliconcarbideingot

    2026-09-28发布2026-09-28实施

    第三代半导体产业技术创新战略联盟发布

    T/CASAS073—2026

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