CN119350975A 一种用于碳化硅衬底片的纳米氧化铝抛光液及其制备方法与应用 (上海工程技术大学).pdfVIP

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  • 2026-10-13 发布于重庆
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CN119350975A 一种用于碳化硅衬底片的纳米氧化铝抛光液及其制备方法与应用 (上海工程技术大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119350975A

(43)申请公布日2025.01.24

(21)申请号202411481814.1

(22)申请日2024.10.23

(71)申请人上海工程技术大学

地址201620上海市松江区龙腾路333号

申请人上海映智研磨材料有限公司

(72)发明人张泽芳常彤彤

(74)专利代理机构上海科盛知识产权代理有限

公司31225

专利代理师袁彩娟

(51)Int.Cl.

C09G1/02(2006.01)

H01L21/306(2006.01)

权利要求书1

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