洁净室及相关受控环境 第14部分：按空气悬浮粒子浓度评估设备适用性 标准立项发展报告.docx

洁净室及相关受控环境第14部分：按空气悬浮粒子浓度评估设备适用性标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part14:Assessmentofsuitabilityforuseofequipmentbyairborneparticleconcentration

摘要

随着半导体制造、生物制药、精密仪器加工、航空航天及医疗器械等高新技术产业的迅猛发展，洁净室及相关受控环境作为保障产品质量与工艺安全的关键基础设施，其重