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半导体烧结材料连接工艺方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 4
二、适用范围 8
三、术语定义 9
四、工艺目标 11
五、原材料技术要求 13
六、基体表面预处理工艺 15
七、连接方法选型原则 17
八、常用连接方法分类 20
九、温度场控制要求 23
十、压力场控制要求 25
十一、气氛环境控制规范 28
十二、烧结连接工艺步骤 31
十三、关键工艺节点控制 35
十四、外观质量检验标准 37
十五、微观组织检测要求 40
十六、力学性能测试方法
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