半导体烧结材料连接工艺方案.docx

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半导体烧结材料连接工艺方案

目录TOC\o1-4\z\u

一、总则 4

二、适用范围 8

三、术语定义 9

四、工艺目标 11

五、原材料技术要求 13

六、基体表面预处理工艺 15

七、连接方法选型原则 17

八、常用连接方法分类 20

九、温度场控制要求 23

十、压力场控制要求 25

十一、气氛环境控制规范 28

十二、烧结连接工艺步骤 31

十三、关键工艺节点控制 35

十四、外观质量检验标准 37

十五、微观组织检测要求 40

十六、力学性能测试方法

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