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电子信息制造核心设备运维管理作业手册
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 3
二、运维管理适用范围 8
三、核心设备分类界定 10
四、运维基本通用要求 12
五、运维人员资质要求 15
六、日常巡检作业规范 17
七、定期预防性维护规范 19
八、常见故障分类分级 23
九、故障应急响应流程 26
十、故障排查诊断方法 28
十一、运维备件仓储管理 31
十二、核心设备精度校准 34
十三、设备运行环境运维 36
十四、运维数据记录管理 39
十五、设备运行性能评估 42
十六、设备退役处置规范 43
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