SEMI F104-2022 超纯水系统组件颗粒析出性能评估测试方法（中文解读）.docxVIP

SEMIF104-2022超纯水系统组件颗粒析出性能评估测试方法（中文解读）

核心定位：本标准用于量化高纯流体组件向流体中释放的颗粒（颗粒贡献量），区分部件本底颗粒，解决UPW/高纯化学品管路部件选型、入场验收、失效溯源。标准包含漂洗测试法（RinseTest）、动态测试法（DynamicTest）两种测试方案。

1总则

1.1目的

规定半导体制造中超纯水（UPW）、液态化学品输送系统组件颗粒贡献量的评估原理、测试环境、样品预处理、两套测试流程、颗粒检测、数据归一化、合格判定、测试报告要求。量化评估组件在流体冲刷、动作工况下析出/脱落颗粒水平，用于部件选型、FAT/SAT验收、供应商对比、系统颗粒污染溯源。

1.2适用范围

被测组件SUT：高纯管路、316LEP管件、PFA/PVDF接头、隔膜阀、调压阀、单向阀、取样阀、过滤器/滤芯、缓冲罐、密封件（FFKM/EPDM垫片）等与超纯水/高纯湿化学品直接润湿接触的组件。

测试介质：基准超纯水UPW；该标准方法也可拓展用于高纯液态化学品（SC1、DHF、IPA等）。

适用场景：新组件入场验证、材质换代评估、批次比对、故障部件颗粒溯源、年度复核；适配8英寸、12英寸晶圆产线。

不适用：已经安装在产线长期服役老化失效部件的破坏性失效分析；大型完整成套设备整机测试（仅针对独立组件）。

1.3引用标准

SEMIF57超纯