SEMI F71-2024 中文版：半导体湿制程设备材料相容性测试规范.docxVIP

SEMIF71-2024中文版：半导体湿制程设备材料相容性测试规范

重要说明：SEMI原版英文名称：SEMIF71-2024TestMethodforMaterialCompatibilityofSemiconductorWetProcessingEquipment。SEMI标准为付费版权文档，无官方中文版。本文为工程编译版本，可直接用于湿制程设备（单片清洗机、槽式清洗机、刻蚀、剥离设备）材质选型、组件来料验证、设备FAT/SAT验收、材料qualification报告。

配套关联标准：SEMIF57（高纯高分子管材组件）、SEMIF48（聚合物材料杂质析出测试）、SEMIF51（弹性密封件）、SEMIC82（液体颗粒计数）。

第1章范围

1.1目的

本规范建立半导体湿制程设备接触药液部件的材料相容性标准化测试方法，评估材料在工艺化学药液、温度、浸泡时长工况下的物理老化、尺寸变化、质量变化、颗粒脱落、痕量金属/有机物溶出，用于材料选型、新材质认证、部件变更管控，降低晶圆污染、部件失效、工艺漂移风险。

1.2适用范围

适用设备：12英寸/8英寸单片式湿法清洗机、槽式清洗机、湿法刻蚀、光阻剥离、电镀、漂洗单元；

测试对象：所有与工艺药液/超纯水直接接触的部件：PFA、PVDF、PTFE、ETFE、弹性密封圈、石英、碳化硅、高纯陶瓷等；

适用介质