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光刻胶感光组分溶剂配比防局部过浓工艺研究

一、光刻胶感光组分溶剂概述

1.感光组分的分类与作用

感光组分作为光刻胶的核心组成部分，其种类繁多，作用各不相同。常见的感光组分主要分为光引发剂、光敏树脂和交联剂三大类。光引发剂是感光组分中的关键组分，它能够吸收光能并在特定波长下产生自由基，从而引发光聚合反应。根据光引发剂的化学性质，可以将其分为芳香族和杂环族两大类。其中，芳香族光引发剂因其稳定性好、寿命长而被广泛应用。例如，苯偶姻光引发剂在365nm紫外光下具有较高的引发效率和光聚合速率，广泛应用于半导体光刻工艺中。杂环族光引发剂则具有较低的聚合速率，但具有较高的光