JIS K0552-1994Amd 1-2026 超纯水电导率试验方法（修正案1） 标准立项发展报告.docx

超纯水电导率试验方法（修正案1）标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:Testingmethodsforelectricconductivityinhighlypurifiedwater(Amendment1)

摘要

随着半导体制造、生物医药、电力能源及精密电子等高新技术产业的快速发展，超纯水作为关键工艺介质，其水质指标的精准检测成为保障产品质量与工艺稳定性的核心环节。电导率是评价超纯水纯度的重要指标之一，其测试方法的标准化对行业具有重要指导意义。日本工业标准JISK0552-1994《超