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高精度金属掩膜版项目竣工验收报告
目录TOC\o1-4\z\u
一、项目建设概况 3
二、验收组织情况 4
三、项目建设内容 7
四、厂区与生产布局 9
五、生产工艺流程 11
六、核心设备安装情况 14
七、公用工程建设情况 16
八、洁净环境建设情况 19
九、金属掩膜版技术参数 22
十、产品质量检验情况 26
十一、生产运行情况 28
十二、工程质量评定情况 31
十三、设备调试运行情况 32
十四、计量检测管理情况 34
十五、安全设施建设情况 37
十六、职业健康管理情况
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