单晶多晶硅片生产工艺流程全解析.pdf

在【技术应用】单晶、多晶硅片生产工艺流程详解〔上〕中,笔者介绍了单晶和多晶硅

片工艺流程的前半局部,概述了一些工艺流程和概念,以及术语的相关知识。而本文则是从

切片工艺开场了解,到磨片和吸杂,看硅片如何蜕变。

切片

切片综述

当单晶硅棒送至硅片生产区域时,晶棒已经过了头尾切除、滚磨、参考面磨制的过程,

额外材料的增加他一些类似的坚硬材料与液体的混合物通过钢线的带动砂浆会对晶棒缓慢研磨带走晶棒外表少许材料形成凹槽钢线的不断移动将凹槽中的材料不断带走在钢线完全通过晶棒后砂浆仍随钢线移动线切割的问题有两

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