微束分析 透射电镜样品制备中聚焦离子束的应用 词汇 标准立项发展报告.docx

微束分析透射电镜样品制备中聚焦离子束的应用词汇标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Microbeamanalysis—FocusedionbeamapplicationforTEMspecimenpreparation—Vocabulary

摘要

聚焦离子束（FIB）与透射电子显微镜（TEM）联用技术是当前微纳米尺度定点取样与结构表征最有效的手段之一，广泛应用于半导体工艺研发与失效分析、金属与合金、薄膜涂层、能源存储材料以及生物冷冻样品制备等领域。然而，FIB用于TEM样品制备涉及大量专业术语，长期以来在设备厂