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半导体光刻级氟化钙晶体用高纯原料技术要求及检测方法.pdfVIP

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  • 2026-10-20 发布于河南
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半导体光刻级氟化钙晶体用高纯原料技术要求及检测方法.pdf

    ICS31.260T

    CCSL90

    团体标准

    T/CEATECXXX—2026

    半导体光刻级氟化钙晶体用高纯原料

    技术要求及检测方法

    Technicalrequirementsandtestmethodsofhigh-purityrawmaterialsfor

    calciumfluoridecrystalsusedinsemiconductorlithography

    （征求意见稿）

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    中国欧洲经济技术合作协会发布

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