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自动化系统和集成 制造用数字孪生框架 第100部分：半导体铸锭生长过程管理用例 标准立项发展报告.docx

自动化系统和集成 制造用数字孪生框架 第100部分：半导体铸锭生长过程管理用例 标准立项发展报告.docx

    自动化系统和集成制造用数字孪生框架第100部分：半导体铸锭生长过程管理用例标准立项发展报告

    EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:Automationsystemsandintegration—Digitaltwinframeworkformanufacturing—Part100:Usecaseonmanagementofsemiconductoringotgrowthprocess

    摘要

    数字孪生（DigitalTwin）作为智能制造的核心使能技术，通过构建物理制造实体与虚拟模

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