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MEMS气体报警芯片品质控制规范.docx

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    MEMS气体报警芯片品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、适用范围 4

    二、规范性术语 5

    三、产品分类与型号 7

    四、质量管理职责 10

    五、质量目标与策划 13

    六、设计开发控制 16

    七、原材料质量控制 19

    八、晶圆制造过程控制 23

    九、封装与组装控制 25

    十、生产环境与设备管理 28

    十一、检验与试验设备管理 30

    十二、产品检验流程 32

    十三、气体检测性能要求 35

    十四、电气性能要求 37

    十五、环境适应性要求 40

    十六、可靠性验证要求 42

    十七、静电防护与安全控制

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