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MEMS传感器质量检验标准设计方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、方案目标与适用范围 3
二、质量检验总体框架 5
三、传感器分类与检验对象 7
四、产品质量特性要求 11
五、检验流程与质量控制点 13
六、抽样规则与检验批次 15
七、外观与结构检验 17
八、尺寸与装配检验 19
九、电气性能检验 22
十、传感性能检验 24
十一、环境适应性检验 28
十二、可靠性与寿命检验 33
十三、封装与密封性检验 35
十四、检验设备与量具管理 37
十五、检验方法与操作要求 40
十六、检验结果判定
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