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MEMS惯性传感器品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 3
二、术语和定义 5
三、产品分类与型号 7
四、质量管理要求 9
五、设计质量控制 13
六、原材料与外购件控制 17
七、生产过程控制 19
八、洁净与环境控制 21
九、设备与工装管理 23
十、检验与试验设备管理 25
十一、关键工序控制 28
十二、过程检验要求 30
十三、成品检验要求 33
十四、性能测试方法 35
十五、环境适应性试验 38
十六、可靠性与寿命试验 41
十七、失效分析与改进 44
十八、不合格品
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