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MEMS过程传感器品质控制规范.docx

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    MEMS过程传感器品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、适用范围 4

    二、规范性术语 5

    三、传感器分类 8

    四、品质控制原则 10

    五、品质管理职责 13

    六、产品技术要求 15

    七、设计开发控制 20

    八、供应商质量管理 22

    九、原材料质量控制 25

    十、晶圆制造过程控制 27

    十一、微结构加工控制 30

    十二、封装过程控制 32

    十三、洁净室环境控制 35

    十四、生产设备与工装管理 38

    十五、生产过程监测 42

    十六、检验与试验方法 44

    十七、关键特性管理 48

    十八、产品一

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