MEMS传感器可靠性测试方案.docx

PAGE

MEMS传感器可靠性测试方案

目录TOC\o1-4\z\u

一、方案目标与适用范围 4

二、传感器产品与技术特性 6

三、可靠性测试总体原则 8

四、测试对象与样品管理 10

五、测试项目与等级划分 13

六、测试条件与环境控制 16

七、测试设备与计量管理 19

八、初始性能测试 24

九、高温存储测试 28

十、低温存储测试 31

十一、温度循环测试 34

十二、湿热环境测试 36

十三、机械振动测试 44

十四、机械冲击测试 48

十五、封装与气密性测试 50

十六、电应力与寿命测试 53

十七、

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档