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MEMS传感器可靠性测试方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、方案目标与适用范围 4
二、传感器产品与技术特性 6
三、可靠性测试总体原则 8
四、测试对象与样品管理 10
五、测试项目与等级划分 13
六、测试条件与环境控制 16
七、测试设备与计量管理 19
八、初始性能测试 24
九、高温存储测试 28
十、低温存储测试 31
十一、温度循环测试 34
十二、湿热环境测试 36
十三、机械振动测试 44
十四、机械冲击测试 48
十五、封装与气密性测试 50
十六、电应力与寿命测试 53
十七、
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