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- 2026-10-21 发布于江苏
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN108231923A
(43)申请公布日
2018.06.29
(21)申请号201611161550.7
(22)申请日2016.12.15
(71)申请人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿
生研究所
地址215123江苏省苏州市苏州工业园区
若水路398号
(72)发明人黄勇熊敏杨辉
(74)专利代理机构深圳市铭粤知识产权代理有
限公司44304
代理人孙伟峰侯艺
(51)Int.Cl.
H01L31/0304(2006.01)
H01L31/03
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