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MEMS机器人触觉件品质控制规范.docx

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    MEMS机器人触觉件品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 4

    二、术语和定义 7

    三、产品分类与型号 9

    四、品质管理要求 12

    五、设计质量控制 15

    六、原材料与外购件控制 17

    七、MEMS芯片质量要求 20

    八、结构件质量要求 23

    九、电气与信号质量要求 25

    十、制造过程控制 28

    十一、洁净与环境控制 31

    十二、关键工序管控 34

    十三、检验与试验设备 36

    十四、来料检验 39

    十五、过程检验 41

    十六、成品检验 45

    十七、性能测试方法 48

    十八、可靠性验证

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