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MEMS传感器产品质量控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 2
二、适用范围 5
三、术语和定义 7
四、质量管理职责 9
五、产品质量目标 12
六、设计开发质量控制 15
七、供应商与来料质量控制 17
八、生产过程质量控制 20
九、关键工序控制 24
十、检验与试验控制 29
十一、产品可靠性与环境适应性 31
十二、静电防护与洁净度控制 36
十三、标识追溯与批次管理 38
十四、不合格品控制 43
十五、数据分析与持续改进 45
十六、包装储存与交付控制 48
总则
目的界定
本章旨
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