1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内外标准规范

MEMS微阀器件品质控制规范.docx

MEMS微阀器件品质控制规范.docx

    PAGE

    MEMS微阀器件品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、范围 4

    二、规范性术语 6

    三、术语和定义 8

    四、器件分类 10

    五、质量管理要求 12

    六、设计质量控制 14

    七、材料质量控制 19

    八、制造过程控制 22

    九、洁净度控制 25

    十、外观质量要求 27

    十一、尺寸精度要求 29

    十二、流量性能要求 30

    十三、压力性能要求 32

    十四、密封性能要求 35

    十五、响应性能要求 38

    十六、电气性能要求 40

    十七、环境适应性要求 43

    十八、可靠性要求 46

    十九、检验方法

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >