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半导体洁净间人员进出技术规范.docx

半导体洁净间人员进出技术规范.docx

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    半导体洁净间人员进出技术规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、适用范围 4

    二、术语与定义 4

    三、洁净间等级与分区 7

    四、人员进入基本要求 10

    五、人员健康与个人卫生 12

    六、人员培训与资格管理 14

    七、洁净服及装备要求 16

    八、更衣设施与功能布局 19

    九、进入前准备与检查 22

    十、洁净服穿戴操作 24

    十一、人员气闸室通行要求 27

    十二、人员清洁与除尘要求 29

    十三、洁净间内行为规范 32

    十四、人员流线与分区转换 34

    十五、访客及外协人员管理 35

    十六、特殊作业人员进出要求

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