T∕CASAS 055-2026 半导体材料紫外光电子能谱测试方法.docxVIP

ICS29.045CCS

ICS

29.045

CCS

H80

团 体 标 准

T/CASAS055—2026

半导体材料紫外光电子能谱测试方法

Ultravioletphotoelectronspectroscopytestmethodsforsemiconductormaterials

2026-09-28发布 2026-09-28实施

第三代半导体产业技术创新战略联盟 发布

T/CASAS055—2026

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I

目 次

前言 II

引言 III

范围 1

规范性引用文件 1

术语和定义 1

方法原理 1

测试要求 2

实验室环境 2

测试环境 2

测试仪器 2

标准材料 2

总则 2

参考标准材料 2

工作标准材料 2

样品制备 3

制备要求 3

清洁要求 3

储存要求 3

样品处理 3

测试程序 3

数据处理 4

试样性能测量结果处理 4

不确定度来源 4

数据分析 4

二次电子截止边分析 4

价带顶或HOMO能级位置分析 4

导带底或LUMO能级位置分析 4

基于固定终态紫外光电子能谱测试的电子初始态密