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半导体洁净厂房建设方案.docx

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    半导体洁净厂房建设方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目总体规划 3

    二、建设目标与设计原则 5

    三、厂址条件与总图布局 8

    四、工艺需求与生产流程 11

    五、洁净等级与环境参数 14

    六、建筑结构与围护系统 16

    七、洁净室空间设计 19

    八、空气净化与通风系统 23

    九、温湿度控制与冷热源 26

    十、微振动控制与隔振设计 28

    十一、给排水与超纯水系统 30

    十二、工艺气体与化学品系统 32

    十三、废气废水与固废处理 35

    十四、电气供配电与照明系统 37

    十五、弱电与智能化系统 42

    十六、消防安

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