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电子工业洁净厂房项目技术方案.docx

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    电子工业洁净厂房项目技术方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概况 3

    二、设计目标与原则 8

    三、生产工艺与洁净需求 11

    四、洁净等级与环境参数 15

    五、总平面与功能分区 18

    六、洁净室建筑与围护结构 21

    七、空气净化与气流组织 23

    八、空调冷热源与通风系统 25

    九、压差控制与风量平衡 28

    十、给排水与纯水系统 31

    十一、工艺气体与化学品系统 34

    十二、电气供配电与照明 36

    十三、防静电与接地设计 39

    十四、消防与安全设计 42

    十五、环境监测与自动控制 43

    十六、设备选型与系

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