原创力文档超高阻硅单晶电阻率的测定
直流两探针法
编制说明
(征求意见稿)
江苏鑫华半导体科技股份有限公司
2026年7月
一．工作简况（包括任务来源、协作单位、主要工作过程）
1、任务来源
为补齐国内超高阻硅单晶、电子级多晶硅电阻率检测标准空白，规范超高阻区间硅材料
电阻率检测方法，解决行业检测方法不统一、数据可比性差的问题，根据团体标准制修订相
关工作要求，立项制定《超高阻硅单晶电阻
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