芯片生产厂房微振动控制工程技术规范 标准立项发展报告.docx

芯片生产厂房微振动控制工程技术规范标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:TechnicalSpecificationforMicro-vibrationControlEngineeringofChipManufacturingPlants

摘要

集成电路是信息技术产业的核心基石，其制造精度已进入纳米量级，光刻、量测等精密设备对厂房环境振动极为敏感，微振动控制水平直接关系到光刻套刻精度、缺陷控制和芯片良率。随着国内晶圆厂建设规模持续扩大、制程工艺不断演进，迫切需要专门针对芯片生产厂房的微振动控制