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半导体衬底材料项目节能评估报告
目录TOC\o1-4\z\u
一、项目概况 4
二、建设方案与工艺流程 6
三、产品方案与生产规模 8
四、原辅材料及能源资源 11
五、厂区总平面与运输 13
六、主要设备选型与能效水平 17
七、能源消费品种及用能系统 20
八、供配电系统能耗分析 23
九、热力系统能耗分析 25
十、空调净化系统能耗分析 27
十一、工艺设备能耗分析 30
十二、给排水及循环水能耗分析 32
十三、压缩空气与特种气体能耗分析 34
十四、能源计量与监测 37
十五
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