CN119243125A 加热盘角度调节装置、方法及半导体器件的加工设备 （拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119243125A

(43)申请公布日2025.01.03

(21)申请号202411441744.7

(22)申请日2024.10.15

(71)申请人拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公

司

地址110171辽宁省沈阳市浑南区水家900

号

(72)发明人潘丽君闻皓岩白海健王宏耀

(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公

司31100

专利代理师徐迪

(51)Int.Cl.

C23C16/46(2006.01)

C23C16/52(2006.01)

C23C14/50(2006.01)

C23C14/54(2006