物理气相沉积薄膜的界面与附着力 · 学习笔记.docxVIP

物理气相沉积薄膜的界面与附着力·学习笔记

本章主线：PVD薄膜能否实用，关键看膜与基体之间的界面结合牢不牢。本笔记依次回答四个问题——膜在基体上怎么长（生长模式）、靠什么结合在一起（结合机制）、哪些因素决定牢不牢（影响因素）、怎么测出来（测试方法），以及工程上怎么增强附着力。

一、基本概念

物理气相沉积（PVD）指在真空条件下，用物理方法（加热蒸发、离子轰击溅射、弧光放电等）将固态膜材气化为原子、分子或离子，再输运到基体表面凝结成薄膜的技术，主要包括真空蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀膜三大类。

界面并非几何上的一个面，而是膜与基体之间成分、结构、性能发生突变或渐变的一个过渡区域，称为界面区