纳米材料表征方法原理与技术应用详细讲解课件.pptVIP

成像分辨率低A形貌衬度背散射电子能量高，以直线轨迹溢出样品表面，背向检测器的表面无法收集电子变成阴影.可以分析凹面样品。其图象衬度很强，衬度太大会失去细节的层次，不利于分析。因此，BE形貌分析效果远不及SE，故一般不用BE信号。B成分衬度原子序数高的区域电子数量多，图像较亮。2.背散射电子像形貌衬度:BE其图象衬度很强，形貌分析会失去细节的层次，因此，BE形貌分析效果远不及SE，故一般不用BE信号。但在分析凹面样品时可以选用BE图像，因为深的凹槽虽然产生多的二次电子，但不以检测到。3.二次电子像和背散射电子像的对比SecondaryElectronImageBackscatteredElectronImage成分衬度：BE信号随原子序数Z的变化SE的变化显著的多，因此图像应有较好的成分衬度。尤其在用特征X——射线EDS分析表面的化学成分时，常结合BE的成分衬度像共同分析表征。SecondaryElectronImageBackscatteredElectronImage1．分辨本领一般情况下，人眼的分辨本领为0.1—0.2mm，光学显微镜的分辨本领为0.2um，透射电镜的分辨本领为0.1—0.3nm(最佳可近于2?或更小)，而扫描电镜二次电子像的分辨本领一般为0.5—6nm。