膜材料 EDI 树脂国产化率与标的格局研判.docxVIP

第PAGE页/共NUMPAGES页

膜材料EDI树脂国产化率与标的格局研判

前言

半导体超纯水（UPW,UltrapureWater）是32nm及以下线宽制程、先进封装与HUPW（热超纯水）产线的血液。SEMIF63-1224（2024年12月发布，SEMI美国商店产品号F06300，行业中文简称F63-24/F63-2024，指向同一文本，取代F63-0521）对电阻率（理论极限18.2–18.25MΩ·cm@25℃）、TOC（先进制程趋紧至≤1ppb）、POU终端纳米颗粒（0.02–0.05μm）与胶体硅、ppt级痕量金属与硼等提出了近乎零杂质的强制管控。能否稳定产出符合该标准的水，取决于制备工艺链末端的几类核心耗材：反渗透/超滤膜、EDI（电去离子）模块、抛光混床与核级（电子级）离子交换树脂。

本文的定位是趋势研判，而非放量口号。过去两年，市场上关于膜材料/EDI/核级树脂国产化率的说法从不足5%到已超50%跨度极大，根本原因在于统计口径彼此打架——有的按系统价值量、有的按装机数量，有的把进口品牌在华工厂出货也算作国产，有的把泛工业级膜混同于半导体级。若不加口径交叉验证就直接引用，极易误导采购决策与产业判断。因此，本文的第一任务是对口径做去伪存真，第二任务是把沃顿科技、碧水源、至纯科技、高频科技四家代表