中文解读版与官方原版 F63-1224 条款级核对.docxVIP

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中文解读版与官方原版F63-1224条款级核对

前言

半导体工艺用超纯水（UPW）的标准体系以SEMI国际半导体产业协会发布的《GuideforUltrapureWaterUsedinSemiconductorProcessing》为核心。该标准在SEMI美国商店的产品号为F06300，现行有效版本为SEMIF63-1224（2024年12月发布），其前一版为F63-0521，已被F63-1224取代。需要特别说明的是，行业中文语境中常见的“F63-24”“F63-2024”等简称，指向的均为同一份文本F63-1224，并非独立于F63-1224之外的另一个版本；凡是宣称其“替代F63-19/F63-2022”等超出修订史支撑的说法，均缺乏官方依据。

近年来，随着国内晶圆厂扩产与先进制程导入，大量以“SEMIF63中文版详细解读”“半导体超纯水标准指南（word版）”为题的二次文档在文库类、文档分享类平台上广泛传播。这类文档对官方英文原版进行了翻译、归纳与再组织，在降低学习门槛方面确有价值；但与此同时，部分文档在转译与再演绎过程中，引入了官方英文原版中并不存在的分级体系（如Grade1A/1B/2/3）、并不存在的浓度量级称谓（如“ppq级”）、以及并不作