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基于微带线耦合开口谐振环结构的力学传感器研究.pdf

基于微带线耦合开口谐振环结构的力学传感器研究.pdf

    摘要

    摘要

    力学传感器是连接力学信号与量化表征的核心器件，其性能优化对提升物

    理参数量化精度具有重要意义。针对微力和微弯曲角度测量在生物医学工程检

    测、精密器械制造等领域面临显著技术挑战，本文采用微波谐振传感机制，分别

    FR4PI

    以和为基板，开发了两种基于微带线耦合开口谐振环结构的力学传感器。

    相较于传统力学传感器，本文所开发的传感器结构简单、易于制作，在灵敏度、

    分辨率方面表现出色。具体的研究内

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