IEC 62047-33：2019 半导体器件微机电器件第33部分MEMS压阻压敏器件标准立项发展报告.docx

半导体器件微机电器件第33部分：MEMS压阻压敏器件标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:SemiconductorDevices–Micro-electromechanicalDevices–Part33:MEMSPiezoresistivePressure-SensitiveDevice

摘要

随着微电子机械系统（MEMS）技术的快速发展，压阻式压力敏感器件作为MEMS传感器领域的核心组件，已广泛应用于汽车电子、工业控制、医疗健康、消费电子及航空航天等众多行业。然而，在国际范围内，针对MEMS压阻压敏器件的术语定