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扩散泵安全操作规程

一、适用范围与职责边界

本规程是油扩散泵操作、维护、应急处置的强制性执行标准，所有接触设备的人员必须严格遵守，无例外豁免权限。

1.适用范围：适用于工作极限真空≤1

2.职责划分：

?操作人员：必须经理论+实操考核合格取得设备操作权，严格按规程启停、巡检，对操作环节的安全直接负责；

?维保人员：负责周期保养、故障排查、备件更换，对设备本质安全负责；

?车间安全员：每月抽查规程执行情况，对违规操作有即时叫停权，负责组织事故追溯与整改验证。

二、作业前准备与安全检查

作业前的前置检查可阻断90%以上扩散泵操作事故，未完成全项检查严禁启动设备。

1.个人防护准备

必须穿戴耐温≥300℃的耐高温手套、防冲击护目镜、长袖阻燃工作服；严禁穿短袖、化纤衣物、露趾鞋操作，防止高温泵体烫伤、泵爆裂时高温油溅射伤人。

2.设备状态检查

?前级泵组（机械泵/罗茨泵）：油位在油标上下刻线之间，泵油无乳化发白现象，电源接线无裸露破损，接地电阻≤4Ω；

?扩散泵本体：泵体无变形、裂纹，各法兰密封面螺栓无松动，泵油油位在观察窗1/2~2/3区间（油位过低会导致抽速不足、过热烧泵，油位过高会引发大量返油污染真空室）；

?冷却系统：水冷机型进水水压0.15~0.3MPa，进水温度≤28℃，进出水管路无堵塞、无渗漏；风冷机型散热风扇无卡滞，风道无积尘遮挡；

?安全附件：泵体过