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《匹配器编制说明》.pdf

《匹配器编制说明》.pdf

    《匹配器》

    编制说明

    团标制定工作组

    二○二六年八月

    一、工作简况

    （一）任务来源

    射频自动匹配器是半导体设备、空间推进器装备的核心配套

    装置，主要通过电抗元件调节实现射频源与负载阻抗共轭匹配，

    降低射频信号反射、提升射频功率传输效率，广泛应用于半导体

    刻蚀、薄膜沉积、航天空间推进等装备领域。

    随着国内半导体装备、空间推进技术产业快速发展，射频自

    动匹配器国产化进程加快，国内生产制造企业逐步增多。当前行

    业缺少专门针对自动匹配器的统一团体标准，产品的分类界定、

    功

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