IEC 62047-37：2020 半导体器件微机电器件第37部分传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法标准立项发展报告.docxVIP

半导体器件微机电器件第37部分：传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:SemiconductorDevices–Micro-electromechanicalDevices–Part37:EnvironmentalTestMethodsofMEMSPiezoelectricThinFilmsforSensorApplication

摘要

随着微电子机械系统（MEMS）技术在传感器领域的广泛应用，MEMS压电薄膜作为核心功能材料，其环境可靠性直接决定传感器的性能稳定性和使用寿命。国际电工委员会（IEC）于2020年4月正式发布IEC62047-37:2020《半导体器件微机电器件第37部分：传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法》，为MEMS压电薄膜传感器的环境适应性评价提供了统一的国际试验方法框架。该标准由IEC第47技术委员会（TC47）下属的第47F分技术委员会（SC47F：微机电器件）负责制定，归属于频率控制和选择用压电器件与介质器件分类领域。标准系统规定了传感器用MEMS压电薄膜在温度循环、湿热、机械振动、冲击等典型环境应力条件下的试验方法和评价准则，填补了MEMS压电薄膜环境试验领域国际标准的部分空白。

本报告围绕该标准的立项背景、技