CN118919387A 离子密度检测装置及其离子密度测量方法 （上海邦芯半导体科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118919387A

(43)申请公布日2024.11.08

(21)申请号202411408945.7

(22)申请日2024.10.10

(71)申请人上海邦芯半导体科技有限公司

地址201304上海市浦东新区中国（上海）

自由贸易试验区临港新片区平霄路

358号7号厂房、9号厂房

(72)发明人沈康涂乐义梁洁桂智谦

王兆祥

(74)专利代理机构上海领洋专利代理事务所

(普通合伙)31292

专利代理师罗晓鹏

(51)Int.Cl.

H01J37/244(2006.01)

G01R19/00(2006.01)

G01